横山FIRST活動サマリ
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08ビッグ鼎談発だけでなく、成果を証明するLSIを300mmラインでつくりたいと思っていました。しかし、政権が代わるなどして期間と予算が少なくなり、コア技術開発に集中せざるを得なくなりました。結果的には、コア技術に集中して取り組んだことが顕著な成果に結びついたのかもしれません。中村:単に微細化を追ったのではなく、従来のシリコン(Si)にこだわらない材料を探したことで、非常に大きな成果が出ました。最初の方向性や戦略が当たったのでしょう。今でこそ0.2Vや0.4Vで動作すると言うけれど、従来の10分の1の電圧ですからね。当時は動くとは思いませんでしたよ(笑)。 この研究は、つくばイノベーションアリーニククスに取り組んだ東北大学の大野課題などが産総研のスーパークリーンルーム(SCR)などの設備を使いました。横山連携体長は、まさに産総研をホームグラウンドとして選びました。 共用で使える装置群が充実している。このことに価値があったのでしょう。当時は、日本の企業ですら海外のコンソーシアムに参加していたわけですから、横山課題は産官学連携の象徴的な存在です。横山:つくばで研究をしたことには、必然性があったような気がします。産総研にはデバイスまでつくれる設備がそろった最先端の300mmラインがあるだけでなく、つくったものの評価ができる体制もあります。 産総研に来て驚いたのは、産総研には誰にも負けない技術やデバイスを持つことは重要産官学の「共創の場」でこれまでにない化学反応が起きたシステムとして動くことを実証するのが基礎研究の課題ナナノテクノロジー拠点(TIA-nano)の傘の下で実施されました。産総研などつくばにあるナノテクノロジーに関連する研究開発組織を全て集めた拠点です。横山課題はその環境で最も基盤的な研究開発を実施したと思います。中鉢:ナノテクノロジーは高度化し、研究開発に使う装置も高価になってきています。TIA-nanoに対する参加要請は産業界からも高まっています。TIA-nanoがイノベーションを起こすプラットフォームとして最適だと認知されてきています。 例えば、他のFIRSTプログラムでは、シリコンフォトニクスに取り組んだ東京大学の荒川課題、LSIと微小電気機械システム(MEMS)のヘテロ集積化に取り組んだ東北大学の江刺課題、スピントロ

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